-
1 ion-beam annealing
-
2 ion-beam annealing
-
3 ion-beam anneal
The New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > ion-beam anneal
-
4 ion-beam annealing
English-Russian dictionary of microelectronics > ion-beam annealing
-
5 ion-beam annealing
Микроэлектроника: ионно-лучевой отжиг
См. также в других словарях:
Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег … Википедия
НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники … Химическая энциклопедия